纳米二次离子探针质谱仪

Nano Secondary lon Mass Spectrometry, NanoSIMS

所属实验室：生物地球化学循环实验室

型号：NanoSIMS 50L

价值：3170万元

制造商：法国CAMECA公司

仪器功能：可以进行微区原位元素、同位素组成及表面分布特征研究。

仪器原理：NanoSIMS 50L型二次离子探针质谱仪与传统的二次离子探针质谱仪（Secondary Ion Mass Spectrometry, SIMS）的工作原理类似。利用离子源（Ion Sources）产生的一次离子，加速形成能量为1-20KeV的一次离子束（Primary Ion Beam）轰击固体样品（Sample）表面，激发（溅射）出正、负二次离子（Secondary Ion Beam），再利用磁场（Magnet）分离具有不同质荷比的二次离子，然后用法拉第杯（FC）或电子倍增器（EM）测量它们的强度，最后通过测量值计算固体表面所含元素及同位素的丰度。

原理图

仪器特点：

NanoSIMS 50L型纳米离子探针相比于传统的离子探针具有较高的灵敏度和极高的空间分辨率， NanoSIMS 50L型纳米离子探针将原来的一次离子倾斜入射改成垂直入射，并使一次离子流和二次离子流共同使用一套共轴透镜系统，一次离子流垂直入射可达到缩小束斑直径（即提高空间分辨率），增加离子束亮度，减小仪器扫描成像失真度。同时使用共轴透镜系统大大缩短了接收二次离子的浸没透镜与样品表面间的距离，进而显著提高二次离子流的接收效率以及仪器的灵敏度。

NanoSIMS 50L型纳米离子探针具有以下特点：

1.高空间分辨率。铯（氧）离子源状态下，一次束离子束斑小于50纳米；

2.高传输效率。在质量分辨率为6000时，二次离子传输效率>55%；在质量分辨率为9000时，二次离子传输效率>20%。

3.极高的灵敏度。在亚微米区域内可获得微量级灵敏度。

4.多接收器。有7个平行的质量分析器（FC或EM），可同时分析7种元素或同位素。同时测量的最大元素与最小元素的质量比可达到22，即Mmax/Mmin = 22。

时间预约：提前预约（送样预约，使用预约）

实验室位置：兰州大学榆中校区致远楼

管理人员：迟鸿飞

联系电话：18865537030

邮箱：chihf20@lzu.edu.cn